CVD鉆石培育配套氫氣發(fā)生器

憑借著在氣體分析、生成和校準領域擁有三十年的經驗，使我們能夠成立Leman Instruments SAS，這是一家專門從事固體、液體和氣體分析所涉及的科學設備模塊研發(fā)，生產和銷售的公司。公司主要生產地位于法國阿爾尚地區(qū)。主要產品包括實驗室氮氣發(fā)生器，氫氣發(fā)生器，氧氣發(fā)生器，零級空氣發(fā)生器等。

百瑞科技（南京）有限公司是一家專注于為醫(yī)療實驗室等領域提供各類氣體發(fā)生器（包括氮氣發(fā)生器，氫氣發(fā)生器，零級空氣發(fā)生器等），真空泵以及壓縮空氣成套設備解決方案的企業(yè)。公司先后與ekom醫(yī)療實驗室壓縮機生產商，意大利Werther，奧地利Metasys牙科設備制造商，以及丹麥flairmo，德國INMATEC，俄羅斯GRASYS，法國Leman Instruments等國外實驗室氣體發(fā)生器廠商機氣體分離系統(tǒng)廠商達成戰(zhàn)略合作協(xié)議。公司代理銷售的氣體發(fā)生器，氮氣發(fā)生器，氫氣發(fā)生器，零級空氣發(fā)生氣，牙科正負壓系統(tǒng)，空壓機成套設備以及后處理設備均滿足各種環(huán)境下的嚴苛需求，產品廣泛應用于石化，制藥，電子行業(yè)、以及各類實驗室等。產品包括ekom dk50系列無油空壓機，metasys hybrid系列牙科負壓抽吸泵，flairmo實驗室氮氣發(fā)生器等等，廣泛用于醫(yī)院，實驗室，食品行業(yè)等。

在CVD的工藝中，需要一種穩(wěn)定可靠的方法來供應超高純度的氫氣。

使用氫氣發(fā)生器代替鋼瓶或其他方式運輸的氫氣可避免在鉆石合成過程中氫氣突然耗盡的問題，并且氫氣發(fā)生器還具有更多的安全優(yōu)勢，同時可以幫客戶節(jié)省長期的用氣成本。

氫氣鋼瓶中的氫氣的含水量高于CVD工藝所要求的數值。因此，氫氣鋼瓶中的氫氣需要進一步干燥才可使用，常用的方法是使用鈀凈化器。

我們可以把鈀凈化器看作是一種非滲透膜，上面只能吸附和解吸氫離子。那么只要非滲透膜完好無損，系統(tǒng)中沒有任何泄漏，氫氣的純度就可以得到保證。因此需要定期測試鈀膜完整性，常用的方法是使用高真空，并檢查真空狀態(tài)是否可保持，或用氦氣對系統(tǒng)加壓以檢查泄漏。

但當使用鈀膜凈化氫氣時，需要關注到的一個問題是“氫脆"。在某些條件下，留在金屬中的氫離子會導致鈀脆裂。這是進行真空泄漏測試或氦氣加壓測試的主要原因之一。同時，保持真空可去除鈀中吸收的氫離子，以避免氫脆。

若不使用鈀膜凈化，其他的干燥技術同樣也可以產生超高純度的氫氣，例如，Leman Instruments 氫氣發(fā)生器采用PSA凈化技術生產的超高純氫氣，具有ppb水平含量的微量氧氣和水分，而不存在“氫脆"對鈀凈化器造成損害這樣的風險，避免了因為鈀膜損壞而導致的高昂的維護費用。

當然，PSA凈化技術也不需要進行真空泄漏測試，因為PSA技術相對于鈀凈化器來說是一種“滲透膜"，因此真空測試并不適用，若進行真空測試，則可能會失敗，用戶可能需要更改其驗證方法。然而，明顯的優(yōu)勢是，PSA通常具有更高的可靠性，若發(fā)生故障，PSA凈化技術的維修成本也更低。

結論

PSA凈化技術可應用到發(fā)生器中為CVD工藝提供超高純度氫氣，從而避免使用鈀膜凈化技術的缺點。

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